德州天衢新区靶材与电子专用材料制造产业以有研亿金为核心，其德州生产基地2023年9月投产，形成年产4.3万块高纯溅射靶材产能，纯度达99.99999%（七个9），良品率超99%，是国内唯一能满足7纳米及以下先进制程的国产化项目，产品进入台积电、中芯国际供应链。
有研亿金高纯溅射靶材是国内高端靶材领跑者，下方为核心量化指标图表。
国内唯一满足7纳米及以下先进制程的国产化靶材项目，全球份额超20%
纯度99.99999%（七个9），金属杂质0.1ppm以内，良品率超99%
有研亿金实现超高纯铜/钴靶垂直一体化，进入台积电、中芯国际供应链
德州将集成电路作为“一号产业链”，靶材为关键配套；47所职校年培养20余万人才，北京设人才飞地。
有研亿金德州基地2023年9月投产；2025年6月高端靶材大会5位院士出席
省市支持集成电路政策覆盖电子专用材料，靶材纳入“五张图”技术路线
双回路供电+标准化厂房，人才飞地支撑研发在京、转化在德
上游为超高纯铜/钛/钽/钴提纯，中游精密制造，下游应用于逻辑芯片、存储芯片、高端滤波器等。
| 环节 | 关键内容 | 关键量化 |
|---|---|---|
| 上游材料 | 超高纯铜/钛/钽/钴提纯 | 7N铜、5N5锰提纯仍存瓶颈 |
| 中游制造 | 熔炼/压加/焊接/机加工 | 覆盖铜/钴/钽/铝/钛等百余款 |
| 下游应用 | 薄膜沉积刚需材料 | 占芯片成本3%—5%，进入台积电/中芯国际 |
国内先进制程靶材长期依赖进口，AI算力与先进封装拉动高端需求；有研亿金为国内高端靶材龙头。
德州基地设计产能4.3万块/年，高端靶材占全球20%以上
7纳米及以下先进制程靶材需求持续增长
国内唯一满足7纳米及以下项目，铜系列靶材市占率领先
天衢新区汇聚121家新一代信息技术企业，有研系在德州布局7个项目，靶材为关键一环。
| 企业类型 | 数量 | 说明 |
|---|---|---|
| 新一代信息技术企业 | 121家 | 含靶材企业 |
| 集成电路规上企业 | 13家 | 营收近300亿 |
| 高新技术企业 | 207家 | 覆盖电子专用材料 |
| 专精特新(省及以上) | 138家 | 含靶材配套 |
| 制造业单项冠军 | 4家 | 含关键材料 |
靶材纯度达99.99999%，攻克12英寸大尺寸靶材致密成型与微观缺陷调控技术，良品率超99%满足3纳米需求。
金属杂质0.1ppm以内（每吨杂质不超0.1克）
实现4—6英寸到12英寸大尺寸靶材突破，12英寸钽/钨靶快速突破
深耕靶材20余年，与10余高校、20余专家团队协同攻关
有研在德州投资近百亿元含靶材基地，垂直一体化制造降低原材料与外购成本，高端靶材附加值高。
有研在德州近百亿7个项目；靶材单线投资数亿元
垂直一体化降低原料与外购成本；标准化厂房控落地成本
铜系列靶材国内市占率领先，进入顶尖供应链带来稳定高毛利
7纳米及以下先进制程靶材国产替代空间巨大，挑战来自超高纯提纯瓶颈与人才；升级路径鼓励封装与电子专用材料补链。
高端靶材占全球20%以上，AI算力拉动需求攀升
7N铜、5N5锰深度提纯仍存工程化瓶颈
高端靶材人才稀缺，超高纯原料进口影响供应链安全